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プロモーションパンフレット
ノッチ用面取砥石
製品詳細情報
半導体材料基板のベベル加工用ホイールです。
ノッチ加工用ホイールには次の3つのタイプがあります。
１．片溝タイプ
２．多溝タイプ
３．複合粗仕上げ用
ノッチ加工の対象 | 砥石のサイズ |
シリコンウエハの面取加工 | φ3.8 x 36L x 11T x 8U x 1.4X |
サファイヤウエハの面取加工 | φ3.8 x 36L x 11T x 8U x 1.4X |
特長
＊均一な単相ダイヤモンド層が加工ダメージを最小限に抑えます。
＊高度な砥粒保持力の耐摩耗ボンドの使用により、高い形状持続性と長寿命を実現。
＊高精度な溝形状と仕上げ技術により、様々な形状のウエハに対応します。
